CHIMICA FISICA DELLO STATO SOLIDO E DELLE SUPERFICI

Scheda dell'insegnamento

Anno accademico di regolamento: 
2014/2015
Anno di corso: 
2
Anno accademico di erogazione: 
2015/2016
Tipo di attività: 
Obbligatorio a scelta
Crediti: 
6
Ciclo: 
Secondo Semestre
Ore di attivita' didattica: 
42

Moduli

Metodi di valutazione

Modalita' di verifica dell'apprendimento: 

Esame orale

Valutazione: 
Voto Finale

Obiettivi formativi

Il corso si pone l’obiettivo di approfondire e consolidare concetti di base della chimica-fisica dei solidi e delle loro superfici con problematiche applicative nelle scienza e tecnologia dei semiconduttori.

Contenuti

Difetti di punto e difetti estesi e loro interazioni. Rilassamento e ricostruzione di superfici ideali e reali Termodinamica delle superfici. Difetti di superficie. Fenomeni di adsorbimento: fisisorbimento e chemisorbimento. Metodi sperimentali di analisi delle superfici .Tecniche di crescita di materiali massivi (monocristallini e policristallini). Tecniche di deposizione di film sottili e loro applicazioni in microelettronica. Difettualità e condizioni di crescita. Tecnologia: impiantazione ionica: principi e applicazioni; danno da impiantazione. Fotolitografia. Criteri di scelta e di ottimizzazione dei processi.

Programma esteso

Difetti di punto e difetti estesi e loro interazioni. Rilassamento e ricostruzione di superfici ideali e reali Termodinamica delle superfici. Difetti di superficie. Fenomeni di adsorbimento: fisisorbimento e chemisorbimento. Metodi sperimentali di analisi delle superfici .Tecniche di crescita di materiali massivi (monocristallini e policristallini). Tecniche di deposizione di film sottili e loro applicazioni in microelettronica. Difettualità e condizioni di crescita. Tecnologia: impiantazione ionica: principi e applicazioni; danno da impiantazione. Fotolitografia. Criteri di scelta e di ottimizzazione dei processi.

Bibliografia consigliata

Dispense fornite dal docente.

Modalità di erogazione

Convenzionale

Metodi didattici

Lezioni frontali

Contatti/Altre informazioni

Sul sito web: www.stc.unimib.it