SEM (scanning Electron Microscope) Tescan VEGA TS 5136XM
Modello: Tescan VEGA TS 5136XM
Caratteristiche tecniche:
Risoluzione: ~ 5 nm
Pressione di lavoro: 5x10-3 ÷ 500 Pa
Dimensioni camera portacampioni: 300 mm (lunghezza) x 250 mm (profondità)x 280 mm (altezza)
Tecniche disponibili:
Elettroni Secondari (SE): informazioni prevalentemente morfologiche
Low Vacuum Secondary Tescan Detector (LVSTD): informazioni morfologiche in pressione variabile (applicazione su materiali non conduttivi o biologici)
Elettroni retrodiffusi (BSE): informazioni morfologiche/composizionali a bassa risoluzione
Electron Beam Induced Current (EBIC): studio di proprietà elettriche delle giunzioni su semiconduttore
Spettroscopia a dispersione di energia di raggi X (X-EDS): informazioni composizionali qualitative e quantitative su elementi
Possibilità di acquisire ed elaborare immagini relative alla distribuzione di elementi all'interno di un'area (mappe)
