Profilometro a stilo Dektak 8 (Digital Instruments, Veeco)

Il profilometro a stilo Dektak 8 offre una ripetibilità di 7.5 angstrom e 1 sigma per una misurazione precisa dell'altezza di gradini con spessore da meno di 100 angstrom a 262 micron. L'opzione N-Lite permette allo stilo di applicare una forza minima di 0.03 mg (15 mg max), ottimale per la misurazione di film delicati come quelli polimerici. E' possibile misurare la rugosità sia lineare che di superficie (con elaborazione di mappe 3D) con elevata precisione, da superfici molto lisce (meno di 10 Å Ra) a superfici molto ruvide (rugosità di diverse centinaia di micron). Dimensione massima del wafer 20 mm di diametro, spessore massimo del campione 25.4 mm, lunghezza massima di scansione 50 mm, risoluzione verticale 1 Å max. Due stili disponibili, con diametro della punta di 2.5 e 12.5 micron (compatibile con stili di molte altre misure, anche submicrometrici). Per maggiori informazioni visitare il sito internet del Centro MIB-SOLAR: https://mibsolar.unimib.it/servizi-per-aziende-e-centri-di-ricerca/