Sputter Magnetron Gencoa SW200-E

Sputter in RF, DC e DC pulsata per la deposizione di film sottili di ossidi conduttivi (AZO), i-ZnO e di molibdeno tramite sputtering su substrati di area massima di 10x10 cm².
Distanza substrato-target: circa 7 cm
Spessore substrati: testato da 0.1 mm a 2.2 mm
Possibilità di scaldare il substrato: Sì
Temperatura max riscaldamento: NP
Spessore AZO con ricetta ottimizzata: circa 300 nm (in DC pulsata)
Spessore i-ZnO con ricetta ottimizzata: circa 60 nm (in RF)
Spessore Mo con ricetta ottimizzata: circa 1.1 micron (in DC non pulsata)
Spessori minimi raggiungibili per ciascuno: circa 10 nm per essere sicuri che il substrato sia del tutto coperto e lo strato sia continuo.
Per ulteriori informazioni visitare il sito internet del Centro MIB-SOLAR: https://mibsolar.unimib.it/servizi-per-aziende-e-centri-di-ricerca/

Edificio
U9; PS02; Q20
Responsabile scientifico

Pubblicazioni

  • Butrichi, F; Trifiletti, V; Tseberlidis, G; Colombo, B; Taglietti, F; Rancan, M; Armelao, L; Binetti, S (2024) Wet synthesis of Cu2MnSnS4 thin films for photovoltaics: Oxidation control and CdS impact on device performances. Dettaglio
  • Tseberlidis, G; Di Palma, V; Trifiletti, V; Frioni, L; Valentini, M; Malerba, C; Mittiga, A; Acciarri, M; Binetti, S (2023) Titania as Buffer Layer for Cd-Free Kesterite Solar Cells. Dettaglio
  • Trifiletti, V; Frioni, L; Tseberlidis, G; Vitiello, E; Danilson, M; Grossberg, M; Acciarri, M; Binetti, S; Marchionna, S (2023) Manganese-substituted kesterite thin-films for earth-abundant photovoltaic applications. Dettaglio
  • Gobbo, C; Di Palma, V; Trifiletti, V; Malerba, C; Valentini, M; Matacena, I; Daliento, S; Binetti, S; Acciarri, M; Tseberlidis, G (2023) Effect of the ZnSnO/AZO Interface on the Charge Extraction in Cd-Free Kesterite Solar Cells. Dettaglio
  • Tseberlidis, G; Trifiletti, V; Vitiello, E; Husien, A; Frioni, L; Da Lisca, M; Alvarez, J; Acciarri, M; Binetti, S (2022) Band-Gap Tuning Induced by Germanium Introduction in Solution-Processed Kesterite Thin Films. Dettaglio
  • Tseberlidis, G; Husien, A; Riva, S; Frioni, L; Le Donne, A; Acciarri, M; Binetti, S (2021) Semi-transparent Cu2ZnSnS4 solar cells by drop-casting of sol-gel ink. Dettaglio
  • Panzeri, G; Dell'Oro, R; Sansotera, M; Marchionna, S; Parravicini, J; Acciarri, M; Binetti, S; Magagnin, L (2021) Design and characterization of a chloride-free organic copper solution: Electrochemical synthesis of Zn/Cu/Sn precursor stack for CZTS-based photoconversion devices. Dettaglio
  • Tseberlidis, G; Trifiletti, V; Le Donne, A; Frioni, L; Acciarri, M; Binetti, S (2020) Kesterite solar-cells by drop-casting of inorganic sol–gel inks. Dettaglio
  • Trifiletti, V; Tseberlidis, G; Colombo, M; Spinardi, A; Luong, S; Danilson, M; Grossberg, M; Fenwick, O; Binetti, S (2020) Growth and characterization of Cu2Zn1-xFexSnS4 thin films for photovoltaic applications. Dettaglio
  • Trifiletti, V; Mostoni, S; Butrichi, F; Acciarri, M; Binetti, S; Scotti, R (2019) Study of Precursor‐Inks Designed for High‐Quality Cu2ZnSnS4 Films for Low‐Cost PV Application. Dettaglio
  • Le Donne, A; Binetti, S; Acciarri, M; Marchionna, S (2017) Earth-Abundant Thin Film Solar Cells Based on Cu2MnSnS4. Dettaglio
  • Boshta, M; Binetti, S; Le Donne, A; Gomaa, M; Acciarri, M (2017) A chemical deposition process for low-cost CZTS solar cell on flexible substrates. Dettaglio
  • Le Donne, A; Cavalcoli, D; Mereu, R; Perani, M; Pagani, L; Acciarri, M; Binetti, S (2017) Study of the physical properties of ZnS thin films deposited by RF sputtering. Dettaglio
  • LE DONNE, A; Marchionna, S; Garattini, P; Mereu, R; Acciarri, M; Binetti, S (2015) Effects of CdS buffer layers on photoluminescence properties of Cu2ZnSnS4 solar cells. Dettaglio
  • Marchionna, S; Garattini, P; Le Donne, A; Acciarri, M; Tombolato, S; Binetti, S (2013) Cu2ZnSnS4 solar cells grown by sulphurisation of sputtered metal precursors. Dettaglio